抽氣原理的選擇或所用真空泵的選擇受特定參數的限制。這些參數主要是:最低壓強、壓強范圍、抽速、排氣壓強。在超高真空范圍內，還要加上另外兩個(gè)參數:泵的選擇性及殘余氣體的成分。

排氣壓強是泵在這一壓強下可以進(jìn)行排氣的壓強。根據這個(gè)觀(guān)點(diǎn)，真空泵可大致分為三類(lèi)：

1)往大氣中排氣的泵。這種泵一般稱(chēng)為粗抽泵或前級泵。把系統中空氣抽除到某一需要的工作壓強稱(chēng)為對該系統粗抽。在另一泵的出口處保持的一個(gè)所需的低壓強稱(chēng)為前級壓強。機械旋轉泵和噴射泵就是典型的粗抽泵或前級泵。

2)只往低于大氣壓的環(huán)境中排氣的泵。這種泵需要一個(gè)前級泵(申聯(lián))向大氣中排氣。擴散泵、羅茨泵及分子泵均屬于這種類(lèi)型。它們都需要一個(gè)前級泵。

3)可束縛住系統中的氣體和蒸汽的泵。這種泵不需要出氣口，是根據電離或吸著(zhù)原理制成的。