一、擴散泵系列真空機組概述：
擴散泵系列真空機組以羅茨旋片機組作為預抽，擴散泵主體及擋板均有改進(jìn)，使得在較低真空領(lǐng)域抽速有較大成度增加。它以油擴散泵為主泵和閥門(mén)、水冷擋板、管道、機械真空泵（前級泵）等組成高真空抽氣系統，可獲得（10-2—10-4Pa）的工作真空度。擴散泵系列真空機組可作為真空冶煉、真空燒結、真空熱處理、真空鍍膜、真空釬焊、真空浸漬、太空模擬試驗裝置等高科技設備的高真空獲得裝置，以及其它需要在10-1 --10-4帕的低氣壓(高真空)環(huán)境下工作的真空系統的配套設備。
擴散泵系列真空機組的特點(diǎn)是抽氣能力大，抽速從190L/S至49000L/S范圍內可供選擇；并可長(cháng)時(shí)間穩定連續工作。擴散泵系列真空機組被廣泛地應用在電子、化工、冶金、航空、航天、材料、生物醫藥、原子能、宇宙探測等高科技領(lǐng)域。如各種真空爐、真空鍍膜設備、真空冷凍干燥設備等。典型真空機組是用氣動(dòng)閥門(mén)程序控制。如需其他驅動(dòng)方法，請在訂貨時(shí)注明。 |
