油封旋轉式真空泵是一種機械抽氣機,它以帶有旋轉的轉子與油的密封而得其名.它是一種獲得低真空的泵,它可用作擴散泵或冷凝泵的前級泵。
除旋片式機械泵外,還有定片式機械泵.它們不僅用來作擴散泵或冷凝泵的前級泵,也常用于減壓降溫、干燥蒸餾等過程。一般普通結構的機械泵不適合于抽含有大量水燕氣的氣體,因為水蒸氣在壓縮過程中就會冷凝,并且因為壓縮室中所達到壓力逐漸增大到飽和蒸氣壓時(泵的工作溫度約為60℃,其飽和蒸氣壓為150 mmHg),蒸氣就開始凝結,而這時排氣閥門還沒有打開,因此蒸氣排不出去,此時蒸氣在泵內凝結成水,和油混合在一起留在泵內,水混入油后形成乳濁液,油含有酸性,引起油的膠化及泵的金屬零件氧化,從而損壞機械泵,有時凝成的水隨著油在抽氣機內循環到進氣口端時,也會引起再蒸發,進入被抽容器中,從而破壞被抽容器的真空。
為了避免這種不理想的現象,蓋德(Grade)在泵上裝上一只氣鎮閥,定時將一定量的空氣放入泵的壓縮區域內,當水蒸氣尚未壓縮到飽和狀態以前,空氣和水蒸氣的混合氣體足以達到頂開排氣閥的閥片而被排出.這種帶氣鎮閥的機械泵不僅能抽氣體,還能抽水蒸氣一般氣鎮閥只在最初抽氣階段打開。
為了防止泵油在泵停止運轉時返人真空系統,常常在機械泵的抽氣管口附近裝上一只真空放氣電磁截止閥。它能在機械泵停止轉動時,截斷機械泵與系統其余部件通道,并讓大氣進人機械泵工作室內,平衡排氣口的壓強,以免油返至系統,這是一種較安全的方法。
機械泵除旋片式、定片式以外,還有往復式真空泵、高速直聯式真空泵等。