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旋片式真空泵中的氣鎮閥



在真空應用中常常排出各種蒸氣或蒸氣與氣體的混合物,主要是水蒸氣。普通旋片式真空泵不能排除蒸氣,蒸氣進入旋片泵的工作室后將受到壓縮,壓強逐漸增大到飽和蒸氣壓(水蒸氣在20℃的飽和蒸氣壓為2.3x103Pa,在60℃為2x104pa)時,排氣閥還沒有打開,多余的蒸氣就開始凝結成液體,因而蒸氣排不出去。

凝結液和泵油攪拌混合生成一種懸濁液,使泵油的特性顯著變壞。同時,具有高飽和蒸氣壓的凝結液又隨著泵油一起循環到進氣瑞,重新蒸發到被抽空間,使極限真空大大惡化。特別是當水蒸氣凝結成水后,會在泵內引起化學反應。

首先,水同鑄鐵相互作用生成軟化鐵,氧化鐵繼續與水作用生成氫氧化鐵,氫氧化鐵與油中的有機酸起作用生成皂化物(鐵肥皂),而皂化物也是加速氧化反應的強催化劑。

由于泵油在壓縮過程中不斷地吸收水分,上述作用連續發生,最后,泵油嚴重脂化變稠,使轉子旋轉困難,泵溫升高,導致泵的密封、潤滑和冷卻性能變差,泵的工作壽命大大縮短。

如果蒸氣是腐蝕性的,則泵體很快會受到嚴重腐蝕。為了避免凝結液對泵性能的影響,最簡便有效的方法是通過摻氣來防止蒸氣在泵內凝結,即在壓縮空間的某一部位接一個可調節摻氣量的摻氣閥(即氣鎮閥)。

在泵工作時,通過閥向壓縮空間摻進一定量的氣體,使之與蒸氣混合。在壓縮過程中蒸氣尚未凝結之前,混合氣的壓強已超過0.1MPa,于是,能夠推開排氣閥排出泵外,這樣就達到了排除蒸氣的目的。摻氣星的多少視蒸氣量的多少而定。

雖然通過氣鎮閥可以排除蒸氣,但會使泵的極限真空下降一個數量級。因此,實際使用中,當蒸氣被排除后應及時關閉氣鎮閥。真空電子器件的排氣,一般不需要使用氣鎮閥。

目前,我國生產的旋片泵均附有氣鎮閥。

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