保證高度的真空除需要爐子的可靠的氣密性及真空管道以外,還需要有合適的真空泵設備。
對真空泵的要求是根據進行還原周期的條件而提出的。爐內裝加壓塊及爐子關閉以后,必須抽出爐膛內的空氣。然后,隨著裝料的加熱,從壓塊中析出吸入的和化合的氣體(水蒸汽及二氧化碳)。這些氣體在較高溫度下析出時,即使為量不多,也能大大地提高爐壓,而破壞真空過程。此外,二氧化碳與水蒸汽竄入較熱的地區時,克與矽以及析出的水蒸氣發生作用。所以必須保證迅速而充分地抽出析出的氣體。
因此,真空泵應完成下列任務:首先,應保證周期開始時在正常壓力下大量氣體的抽出;其次,是在整個操作周期內在低壓下保持相當大的氣體抽出速度。