A.真空室內總放氣量的計算;
B.確定真空室的有效抽速;
C.粗配主泵和粗配前級真空泵;
D.根據要求選擇閥門、捕集器、除塵器等真空元件;
E.繪制真空系統裝配草圖,確定各部分的尺寸;
F.精確(復核)計算各真空泵的參數,如果粗選的真空泵達不到要求,就需要重新選泵和配泵,直到滿足各參數要求為止;
G.繪制真空系統裝配圖;
H.繪制零件圖,繪制施工圖。
這八條設計計算步驟是非標準設計不可缺少的。隨著真空設備的不斷發展,隨著各種新型的真空機組的不斷出現,真空系統設計過程會不斷簡化.現在已有定型真空機組,若可以直接選擇定型真空機組來獲得所需真空系統,便可省去麻煩的真空系統設計。